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基地名称（中文） ：上海市硅基光电子器件研发专业技术服务平台
基地名称（英文）)：Shanghai Professional Technical Service Platform for Silicon-based Integrated Optoelectronic Device
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基地简介：上海市硅基光电子器件研发专业技术服务平台现拥有100-1000级净化室1510平米，平台加工与测试设备总价值约9600余万元。平台建有一条面向硅、玻璃、有机基底，且能向下完全兼容的6英寸半导体级微纳加工实验线,能实现最小近8nm以上微纳米图形加工。
工艺能力涵盖光刻、氧化扩散、湿法清洗与刻蚀、物理气相沉积、化学气相沉积及干法刻蚀、结构与器件特性表征等，同时具备最先进的电子束光刻、聚焦离子束沉积与加工、深硅刻蚀等工艺能力。平台本着大力推进发展国家战略需求领域微纳器件的宗旨，同时依托上海交通大学多个研究团队在硅基光电子领域的科研积累，将硅基光电子作为平台重点攻关发展的方向，先后开展了标准的硅基光波导结构、无源器件，并有序地启动了有源器件的研发，取得了阶段性的成果。同时，平台本着SIIS（服务-交互-创新-满意，Service-Interaction-Innovation- Satisfaction） 的开放服务原则，向校外科研机构、企业开放硅基光电子结构与器件及相关微纳器件与结构的加工服务，提供包括关键技术研发、资源建设整合、共享服务系统开发、培训等服务，吸引了来自全国各地从事相关领域研究与技术开发的大学、研究所及公司加入平台委托加工服务或项目合作，促进产学研合作，推进科研成果产业化进程。
地址：上海市东川路800号电子信息与电气工程学院
邮编：200240 邮箱：seiee@sjtu.edu.cn
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