上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台-上海交通大学电子信息与电气工程学院

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省部级基地

上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台

日期：2022-10-12 阅读：955

基地名称（中文）：上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台

基地名称（英文）：Shanghai Professional Technical Service Platform for Non-Silicon Micro/Nano Integrated Manufacturing

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基地简介：上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台成立于2014年，依托上海交通大学电子信息与电气工程学院开放运行，是上海市研发公共服务平台集成电路领域唯一的非硅特色平台，对接国家重大需求，面向创新发展战略，开展关键技术创新和共性技术支撑工作。

平台依托电子科学技术和集成电路两个学科，形成了智能传感、脑机接口、核心元器件、先进封装和极端环境传感器等优势发展方向，创新开发了一系独具特色的非硅微纳加工单元工艺，初步构建了多元兼容集成制造技术的基础架构，研制了一批高性能微纳器件和系统，形成了以非硅材料为主的MEMS设计制造技术特色。

平台先后承担并完成了一系列国家级重要科研任务，取得了多项高水平研究成果，在满足国家重大需求和支持行业技术创新两个方向发挥了重要作用。先后获得国家技术发明二等奖1次，省部级技术发明一等奖3次，上海市工博会特等奖1次，高交会一等奖1次。

上一条：上海市硅基光电子器件研发专业技术服务平台