省部级基地
薄膜与微细技术教育部重点实验室
日期:2022-10-12 阅读:1638

基地名称(中文):薄膜与微细技术教育部重点实验室

基地名称(英文):Key Laboratory of Thin Film and Microfabrication( Ministry of Education)


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基地简介: “薄膜与微细技术”教育部重点实验室建立于1993年8月,依托上海交通大学开放运行。实验室根据我国经济与社会发展对功能薄膜、纳米材料和微细加工技术与器件发展的重大需求,结合相关领域发展趋势和关键科学问题,系统、深入地开展创新性基础和应用基础研究。注重多学科交叉,将薄膜和微细技术与微纳、信息、能源、生物技术有机结合,形成了具有紧密联系、互为依托的三个主要研究方向:薄膜材料与器件、纳米功能材料与器件、微纳结构加工与器件。具有较深厚的学术底蕴和鲜明特色,承担了多项国家重大科研任务,取得了一批创新性研究成果,为科学前沿发展、国家经济建设和国防科技提供了有力的支持。实验室发展目标是建设成一流的微纳科技创新研究平台和培养特色优秀专业人才基地。